[发明专利]一种基于对称式同模态温度补偿的MEMS谐振式加速度传感器有效
| 申请号： | 202111605043.9 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114280328B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;徐铭柯;徐柳;齐永宏 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;B81B7/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 高博 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于对称式同模态温度补偿的MEMS谐振式加速度传感器，MEMS谐振式加速度传感器由谐振器敏感梁通过杠杆机构与质量块连接形成，能够将外界加速度变化转化为频率偏移量以检测外界加速度的大小。MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器对称分布在加热模块的两侧，加热模块的加热梁通过电流产生电阻热，电阻热通过对称结构传递至MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器。将感温振荡器作为温度感知模块，用其频率来标定温度实现对加速度传感器的温度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 对称 温度 补偿 mems 谐振 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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