[发明专利]机械手传输位置校准的方法有效
申请号: | 202111612130.7 | 申请日: | 2021-12-27 |
公开(公告)号: | CN114227657B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 刘小俊;左少杰;李春龙;卓鸿俊 | 申请(专利权)人: | 北京皓海嘉业机械科技有限公司 |
主分类号: | B25J9/06 | 分类号: | B25J9/06;B25J19/00 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 王志红 |
地址: | 100076 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明涉及半导体领域,具体公开了一种机械手传输位置校准的方法,包括以下步骤:驱动机械手夹持部朝靠近第一个传输位置P |
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搜索关键词: | 机械手 传输 位置 校准 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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