[发明专利]机械手传输位置校准的方法有效

专利信息
申请号: 202111612130.7 申请日: 2021-12-27
公开(公告)号: CN114227657B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 刘小俊;左少杰;李春龙;卓鸿俊 申请(专利权)人: 北京皓海嘉业机械科技有限公司
主分类号: B25J9/06 分类号: B25J9/06;B25J19/00
代理公司: 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 代理人: 王志红
地址: 100076 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及半导体领域,具体公开了一种机械手传输位置校准的方法,包括以下步骤:驱动机械手夹持部朝靠近第一个传输位置P1的方向运动,并确定机械手夹持部运动至第一个传输位置P1,获取每个转轴在第一个传输位置P1所对应的步进马达的校正步数S1、S2、S3、S4...Sn;根据L2‑1/X1...n=L0/S1‑n,计算得到校准后的X1...n;依次类推,计算得到每个转轴在P3、P4......Pn所对应的步进马达的校准步数其中,N、P、n为正整数。本申请通过设置第一激光器、第二激光器,通过对第一个传输位置的校准,能够实现其他多个传输位置的校准,减少传输位置校准的时间和大幅提高传输位置校准精度。
搜索关键词: 机械手 传输 位置 校准 方法
【主权项】:
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