[发明专利]一种防倒灌的半导体尾气的处理装置在审
| 申请号： | 202111613291.8 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114247279A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 朱俭;李兰 | 申请（专利权）人： | 理纯（上海）洁净技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 焦海峰 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防倒灌的半导体尾气的处理装置，包括，尾气管道，用于排出尾气，尾气水洗机构，设置在所述尾气管道内部，并用于对尾气水洗处理，所述尾气水洗机构包括多工位进气装置、多工位水洗装置和升降装置，本发明利用多工位水洗装置将水洗液分成多份填充在多工位中，并通过多工位进气装置将尾气分割成多份通入多工位水洗装置内部对应的区域，使得水洗液与尾气完全且有效接触，既避免了水洗液发生浪费，且保证了尾气的处理效果，其次通过升降装置调整多工位进气装置和多工位水洗装置之间的相对位置，调整多工位进气装置通入的尾气在水洗液中的深度以避免接触过尾气的水洗液，进一步提高了对水洗液使用的完全性以及尾气的处理效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 倒灌 半导体 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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