[发明专利]一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法

摘要

本发明属于类金刚石薄膜制备的技术领域，公开了一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法。所述方法：将类金刚石涂层样品进行深冷处理，获得强化处理的类金刚石薄膜；所述类金刚石涂层样品中类金刚石涂层的sp3C体积含量为42％‑75％；所述深冷处理的条件：于‑100～‑196℃保温处理4～8h。本发明先制备sp3C体积含量为45‑75％的类金刚石涂层，然后通过深冷处理诱导涂层中部分sp2C转变为sp3C，从而提高涂层中的sp3C含量和涂层硬度。本发明的方法简单，通过深冷调控手段不仅无损且便于实现规模化量产。