[发明专利]一种MEMS陀螺性能预评估片上测试系统在审
| 申请号： | 202111620711.5 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114252093A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 赵阳;赵倩楠;施芹;夏国明;裘安萍 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 汪清 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS陀螺性能预评估片上测试系统，该测试系统包括圆片测试探卡电路、数据采集卡和上位机数据采集系统。上位机数据采集系统控制数据采集卡输出模式控制电平，以切换圆片级MEMS陀螺的驱动回路闭环或检测回路闭环。驱动回路闭环时，采集驱动检测信号、检测信号、增益控制电平，在上位机数据采集系统中进行相敏解调、耦合误差、驱动品质因数的计算；检测回路闭环时，采集检测信号、增益控制电平，在上位机程序中完成检测品质因数的计算。本发明采用电学测量的方式对圆片级MEMS陀螺进行耦合误差测试，有利于分离结构误差来源，为圆片级MEMS陀螺性能预评估提供依据；并且提供一种陀螺检测品质因数的闭环测试方案，简化测试步骤，提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺 性能 评估 测试 系统 | ||
【主权项】：
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