[发明专利]一种窄分布的193nm深紫外光刻胶用BARC树脂及其制备方法在审
| 申请号： | 202111622198.3 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114395068A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏;卢汉林;马潇;顾大公;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F212/14 | 分类号： | C08F212/14;C08F212/08;C08F220/20;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明适用于高分子技术领域，提供一种窄分布的193nm深紫外光刻胶用BARC树脂的制备方法，包括：将BARC树脂单体、羧基化富勒烯、引发剂置于溶剂中溶解，得到单体溶液，高温加热，发生自由基聚合反应，得到反应液并冷却，利用不同极性的混合溶剂对冷却反应液进行沉淀处理、分离、干燥，得到光刻胶用BARC树脂。本发明中羧基化富勒烯的羧基可以与甲基丙烯酸羟丙酯、对羟基苯乙烯的羟基反应，减少一些链转移显影，可以得到窄分布聚合物，富勒烯的空心球网状结构可以降低光反射，使得BARC树脂吸光性能更稳定，利用不同极性的混合溶剂处理沉淀，可以改变BARC树脂的分子量和分子量分布，可以根据需求，调节极性的变化浮动，从而制得窄分布的193nm深紫外光刻胶用BARC树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分布 193 nm 深紫 光刻 barc 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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