[发明专利]一种氮化物发光二极管的制备方法有效
申请号: | 202111624036.3 | 申请日: | 2021-12-28 |
公开(公告)号: | CN114284406B | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 徐平;唐海马 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/24;H01L33/06;H01L33/14;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人: | 张勇;刘伊旸 |
地址: | 423038 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本申请公开了一种氮化物发光二极管的制备方法,依次包括:处理蓝宝石衬底、生长低温GaN缓冲层、生长非掺杂GaN层、生长掺杂Si的n型GaN层、生长第一半导体层、生长第二半导体层、生长多量子阱层、生长AlGaN电子阻挡层、生长掺杂Mg的P型GaN层,降温冷却,其中生长第一半导体层为生长形成V型坑的GaN层,生长第二半导体层为生长掺碳、氢和氧的GaN层。本发明通过引入第一半导体层和第二半导体层来改善Droop现象,进而提升LED的发光效率,并提升抗静电能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化物 发光二极管 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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