[发明专利]一种复合集流体的制备设备和制备方法在审
| 申请号： | 202111629075.2 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114481033A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 贾孟 | 申请（专利权）人： | 昆山鑫美源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C25D19/00;C25D7/06;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种复合集流体的制备设备和制备方法，所述复合集流体的制备设备，包括真空蒸镀设备，在所述真空蒸镀设备的后方设置有水镀设备，所述真空蒸镀设备包括真空腔体，所述真空腔体内部设置有第一蒸镀架和第二蒸镀架，基材经过所述第一蒸镀架和第二蒸镀架进行真空蒸镀后，再进入所述水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。其可以解决现有镀膜空间利用率低和镀膜效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 流体 制备 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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