[发明专利]一种光学检测装置及信噪比估算方法、缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202111629210.3 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114354651A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;方一;黄有为;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 冀孟恩;彭家恩 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种光学检测装置及信噪比估算方法、缺陷检测方法，其中光学检测装置包括转台、光源、探测器和处理器，处理器根据转台的转速信号适配噪声干扰的评估模型，根据探测器的电信号和/或探测参数确定评估模型的输入参数，将输入参数输入评估模型以计算得到信噪比，以及根据信噪比判断待检测物体的表面被检测光照射的区域是否存在缺陷。技术方案建立了与待检测物体的转速适配的噪声干扰评估模型，则结合获取的输入参数就容易计算得到光学检测装置的信噪比，不仅能够提升不同转速或检测模式下的信噪比计算效率，还能够得到信噪比与信号采集条件之间的关系，从而提高信噪比计算的准确性，进而利于提高光学检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 装置 估算 方法 缺陷 | ||
【主权项】：
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