[发明专利]一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法有效
| 申请号： | 202111632964.4 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114279303B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 徐富超;廖志杰;林妩媚;胡廷晖 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/245 | 分类号： | G01B5/245 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 金怡 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法，该装置包括双面微柱面透镜阵列(101)，第一小球(102)，第二小球(103)，绕Z轴的旋转台(105)，沿X轴和Y轴的二维平移台(104)，Z轴方向高度接触测量设备(106)和计算机(107)。第一小球(102)，第二小球(103)为两个相同的小球，通过两个小球的定位和对测试数据的拟合处理，实现精确调整双面微柱面透镜阵列与运动轴的关系。通过对上下柱面轮廓数据的测试和数据处理，计算出两个柱面的母线方向，进而实现对双面微柱面透镜阵列垂直度的精确检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 柱面 透镜 阵列 垂直 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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