[发明专利]基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器有效
| 申请号： | 202111635543.7 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114354539B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李学识;张豪;周冬跃 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/3586;G02F1/13 |
| 代理公司： | 佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙) 44675 | 代理人： | 张燕玲 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器，传感器以金属铜板作为基底，在基底上蚀刻出Fano谐振器结构；Fano谐振器结构包括环状槽、设置在环状槽一侧的沟槽以及位于环状槽和沟槽之间的直通型主通道；主通道连通环状槽和沟槽，主通道穿出基底的两端；环状槽与主通道相切，沟槽正对环状槽与主通道相切的部分，且与主通道垂直；其中沟槽提供的是连续态，环状槽提供的是离散态，传感介质通过主通道进入传感器；基底上环状槽内部为蚀刻形成的铜圆柱体结构，铜圆柱体的外部依次设置有液晶内环和隔离环；基底结构的上下表面均封装有隔离层，在隔离层外部覆盖铜金属极板，用于在隔离层上向基底施加偏置电压。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 赫兹 波段 液晶 调制 fano 谐振器 动态 调谐 传感器 | ||
【主权项】：
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