[发明专利]一种可提升功率容量的体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111640341.1 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114389562A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 | 代理人： | 刘新年 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可提升功率的体声波谐振器及其制备方法，该谐振器按照从下向上的顺序依次包括衬底、第一金刚石薄膜层、压电层和第二金刚石薄膜层；第一金刚石薄膜层内形成有第一空腔；第一金刚石薄膜层上表面且位于压电层内设置有底电极，底电极部分暴露于第一空腔中；第二金刚石薄膜层内形成有第二空腔，第二空腔内且位于压电层上表面设置有顶电极；顶电极和底电极之间形成有第一通孔，第一通孔穿透顶电极和底电极，贯通第一空腔与第二空腔；第二金刚石薄膜层内还设有第二通孔，第二通孔贯通第二空腔与外部。本发明的谐振器可以极大地增强谐振器的散热性能，进而极大地降低谐振器的温度，最终提高谐振器的功率容量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 功率 容量 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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