[发明专利]一种多层膜偏振器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111641216.2 申请日: 2021-12-29
公开(公告)号: CN114481063A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 朱京涛;赵世暖;杨泽华;屠洛涔;孙航;金宇 申请(专利权)人: 苏州闻道电子科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/54;G02B5/30
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 刘芳
地址: 215400 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种多层膜偏振器及其制备方法。本发明提供的多层膜偏振器,通过在横向上不同位置镀制周期多层膜(即交替设置第一材料层和第二材料层,并使第一材料层与第二材料层的厚度和沿横向梯度递增),以能够在针对不同的工作能点,在使用中只需要平移偏振器,就能拓展偏振器的工作带宽,进而能够实现400‑1000eV工作能量连续可调的偏振光学元件,提高偏振检测的效果和精确性。
搜索关键词: 一种 多层 偏振 及其 制备 方法
【主权项】:
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