[发明专利]硅基相控阵激光雷达光学天线、制备方法以及激光雷达在审
| 申请号： | 202111643228.9 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114696111A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 罗光振;徐洋;王鹏飞;张冶金;于红艳;潘教青;邓永强 | 申请（专利权）人： | 北京万集科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01Q15/14 | 分类号： | H01Q15/14;H01Q1/38;G01S7/481 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100193 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种相控阵激光雷达光学天线的结构，所述光学天线包括：SOI衬底，所述SOI衬底至少包括衬底硅层、埋氧化层、顶部硅层、第一SiO2保护层以及反射层，在采用成熟工艺制备完天线基本结构后，通过堆叠生长，形成第一SiO2保护层以及反射层，该反射层会将反射的光波再次反射回自由空间中，提高了整个光学天线的辐射效率。本申请的相控阵激光雷达光学天线制备工艺简单，其成品率相对于在在埋氧化层与顶部硅层增加反射层的技术方案显著提高。且本申请的方案辐射效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 相控阵 激光雷达 光学 天线 制备 方法 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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