[发明专利]一种基于三五族化合物的外延片湿法制作方法在审
| 申请号： | 202111643637.9 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114420535A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 刘大威;邓信甫;张九勤 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体器件制造技术领域，具体涉及一种基于三五族化合物的外延片湿法制作方法，包括：步骤S1：形成一牺牲层，于所述牺牲层表面蚀刻形成多条沟槽；步骤S2：于所述牺牲层上沉积形成一外延层；所述外延层的材质为所述三五族化合物；步骤S3：对所述牺牲层进行蚀刻以去除所述牺牲层，以及所述外延层的底部区域；步骤S4：于所述外延层上形成衬底，以完成一外延片。本发明的有益效果在于：通过设置牺牲层对三五族化合物材质的外延层底部进行剥离，去除了晶格缺陷较多的外延层底部区域，避免了现有技术中三五族化合物在沉积过程中底部区域存在较多缺陷的问题，进而实现了较好的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 三五 化合物 外延 湿法 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
