[发明专利]离子束流分布的测定方法在审
| 申请号： | 202111649958.X | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114334591A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 冯木材;陶卓;黄家明 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 冯启正 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子束流分布的测定方法，包括：将离子束流注入至测量阵列；其中，测量阵列包括呈阵列式排布的多个测量单元；读取每一测量单元中的电流值，并将电流值大于零的所有测量单元定义为测量区域；根据测量区域中每一测量单元的电流值，计算出每一测量单元接收的离子束流的密度；至少根据离子束流的密度，计算出测量区域中的离子束流分布尺寸。可见，本发明是通过构建测量阵列来接收离子束流，并利用读取的电流值和计算出的离子束流的密度，获取离子束流分布的边界尺寸，测量方法简便且精度高。并且，测量阵列细分为多个呈阵列式排布的测量单元，以保证读取的电流值的精确度，从而提高了离子束流分布的尺寸的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 分布 测定 方法 | ||
【主权项】：
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