[发明专利]可准确测量介质横向与纵向声学声子速度的共焦显微装置

摘要

本发明的一种可准确测量介质横向与纵向声学声子速度的共焦显微装置，包括：连续激光器、三维平移台、F‑P干涉仪，三维平移台的上侧放置有待测样品，待测样品的正上方装设有测量物镜；连续激光器的一侧依次装设有λ/2波片、起偏器、分光平片、第一反射镜；F‑P干涉仪的一侧依次装设有共焦针孔、会聚透镜、检偏器、旋转反光镜、第二反射镜。本发明无需在测量过程中改变入射光路与散射光路之间的角度，通过动态切换收集光路的方式，实现对被测材料声学声子速度的快速测量，保证测量结果的原位性及准确性，在测量速度、测量精度以及测量方式复杂程度等方面具有显著优势。