[发明专利]一种石英玻璃棒温度和功率联合控制真空烧结方法有效
申请号: | 202111655488.8 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN114212978B | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 蒋辉;罗军;余保国;朱继红;顾立新;吴梦杰;鲁戎;喻均涛 | 申请(专利权)人: | 长飞光纤光缆股份有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03B37/014;C03B37/07 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 胡建平;刘琰 |
地址: | 430073 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种石英玻璃棒温度和功率联合控制真空烧结方法,升温至烧结温度前,加热电源采用温度PID控制模式,达到烧结温度10min后,程序自动切换至功率控制模式,以避免因红外测温不准,而造成石英玻璃棒因实际温度过高造成的玻璃棒拉长报废的问题,烧结阶段Phase结束后,程序再自动切换至温度PID控制模式;根据上一炉烧结运行数据,各段红外测温温度和加热电源功率输出,对下一炉烧结配方recipe数据进行修正;本发明采用温度和功率联合控制控制,可实现真空烧结多段红外温度与实际温度相差较大时,仍可烧结出均匀性较好的石英玻璃棒,以提高真空烧结设备使用率和石英玻璃棒成品合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 玻璃棒 温度 功率 联合 控制 真空 烧结 方法 | ||
【主权项】:
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