[发明专利]阻抗调整方法、射频电路及射频电源装置在审

专利信息
申请号: 202111662234.9 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN114465592A 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 梁永生;雷晓兵;丁毅 申请(专利权)人: 深圳半岛医疗有限公司
主分类号: H03H7/38 分类号: H03H7/38
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 陈文斌
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种阻抗调整方法、射频电路和射频电源装置,所述射频电源装置用于向负载输出射频信号,所述射频电源装置包括阻抗检测模块和阻抗匹配模块,所述阻抗调整方法包括以下步骤:获取射频信号的输出功率和反射功率,根据所述输出功率和反射功率确定负载的反射系数;当反射系数在预设反射系数区间外时,获取阻抗检测模块检测到的电压值,并根据阻抗检测模块检测到的电压值和阻抗预设表调整阻抗匹配模块的阻抗值,以将所述反射系数调整至预设反射系数区间内。本发明在阻抗匹配模块的阻抗与负载阻抗不匹配时实时调整阻抗匹配模块的阻抗,以使阻抗匹配模块与负载阻抗匹配,提高射频电源装置的输出效率,减少能量耗费。
搜索关键词: 阻抗 调整 方法 射频 电路 电源 装置
【主权项】:
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