[发明专利]一种制备纳米球形蜂窝结构的方法有效
申请号: | 202111665075.8 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN114486845B | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 赵晓宇;梁龙杰;温嘉红;刘佳;张坤;孔哲;张永军;王雅新 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种制备纳米球形蜂窝结构的方法,本发明是以有序聚苯乙烯小球阵列为基础,使用等离子反应刻蚀的技术控制小球半径,用旋涂的方法将掺杂金属颗粒的PVA胶包裹在小球上,以构筑蜂窝结构从而设计热点强度位置,在利用磁控溅射的方式向样品表面共溅射银、二氧化硅膜,对样品进行化学腐蚀,使之小球内壁的金属纳米颗粒与PVA胶中金属纳米颗粒进行耦合,以提高其SERS强度。最终形成球形蜂窝纳米结构,这种结构设计了样品热点位置精确控制热点分布与强度,增强了其SERS强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 纳米 球形 蜂窝 结构 方法 | ||
【主权项】:
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