[发明专利]大气压介质阻挡放电等离子体活性产物测量装置和方法在审

专利信息
申请号: 202111665970.X 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN114286486A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 冯高平;王殿恺;黄龙呈;张腾飞;宋俊玲;文明;饶伟;叶继飞;李南雷 申请(专利权)人: 中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
主分类号: H05H1/00 分类号: H05H1/00;H05H1/24
代理公司: 北京众元弘策知识产权代理事务所(普通合伙) 11462 代理人: 宋磊
地址: 101416*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种可以在大气压条件下测量介质阻挡放电等离子体活性产物的新型装置。大气压条件下的介质阻挡放电等离子体用途广泛、备受关注,放电产生等离子体中的活性产物的测量方法是普遍关注的关键问题之一。本发明利用大气压空气泵将空气注入介质阻挡放电腔体中,空气在放电腔体中被电离产生等离子体,而后等离子体中的活性产物随空气流出腔体,注入真空管路,最后利用针阀和真空泵调节真空管路气压,利用连接在真空管路上的质谱仪完成测量。该装置解决了大气压条件下介质阻挡放电等离子体活性产物的实时在线测量问题,能够高精度测量等离子体中的臭氧和氮氧化物等活性产物的浓度。
搜索关键词: 大气压 介质 阻挡 放电 等离子体 活性 产物 测量 装置 方法
【主权项】:
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