[发明专利]基于光学透明导电介质材料的电涡流探头及薄膜厚度测量系统和方法有效
| 申请号： | 202111668255.1 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114136201B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 贾书海;张国龙;高立明;聂天;林子涵;王喆;李国君;陶元旨 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01N27/9093 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光学透明导电介质材料的电涡流探头及薄膜厚度测量系统和方法，将电涡流探头中的线圈结构进行了扁平化的绕线方式设计，节省纵向空间，以适应狭小的测量环境。该电涡流探头结构设计轻巧，使用和加工都非常便利，本发明公开的薄膜厚度测量系统利用固定夹具、螺旋调节器、集线夹具使光谱共焦传感器与电涡流探头组合为整体且使信号发射面保持平行，以使光路与电磁波能够平行或共轴；螺旋调节器用以调节电涡流传感器与光谱共焦传感器信号发射面之间距离，从而适应不同型号传感器的工作距离，保证其测量值在有效量程及灵敏度等要求范围内。在测量方法上，通过光谱共焦传感器和电涡流传感器组合测量，在精度和分辨率上得到了改善。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 透明 导电 介质 材料 涡流 探头 薄膜 厚度 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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