[发明专利]一种表面散布纳米线条半球状结构的制备方法在审
| 申请号： | 202111671310.2 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114293166A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 王雅新;毛德源;赵晓宇;温嘉红;刘佳;孔哲;张鉴;张永军 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;C23C14/58;G01N21/65;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面散布纳米线条半球状结构的制备方法，本发明先利用自组装法在具有亲水性表面的Si衬底上自组装出密排的聚苯乙烯胶体球阵列，得到有序纳米图纹化结构模板；得到的有序纳米图纹化结构模板表面磁控溅射一些金膜，溅射时间为30s；金膜的直径为10～150纳米；将得到的镀有金膜的有序纳米图纹化结构模板进行倒置；最后将倒置得到的模板平行刻蚀；本发明设计并制备的纳米结构通过表面等离激元效应，增强了拉曼信号。制备成本较低，制备工艺较简单，能够有效的被大规模复制应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 散布 纳米 线条 半球 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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