[发明专利]一种CrSi基合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202111671890.5 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114262873A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;魏铁峰;张学华;岳万祥;张欠男;李建奎 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32;C22C27/06;B22F9/04;B22F3/15;B22F1/142 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 荣红颖;刘春成 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供一种CrSi基合金靶材及其制备方法，所述CrSi基合金靶材按照原子百分比由以下成分组成：Si 1‑30％；Me 0‑10％，余量为Cr；其中，Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。本发明通过选择CrSi |
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| 搜索关键词： | 一种 crsi 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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