[发明专利]惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法有效
| 申请号： | 202111672465.8 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114307517B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 周言;黄国强;胡号;钟强 | 申请（专利权）人： | 天津大学浙江绍兴研究院 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/04;C01B9/08;C07C17/389;C07C19/08;C07C21/20;C07C23/06 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 陆艺 |
| 地址： | 312369 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法，步骤为：(1)将高纯惰性气体与全氟碳电子特气粗品原料气按高纯惰性气体体积浓度为100％～0的比例，由高至低浓度混配，得到液态混配气；(2)将液态混配气进行吸附，净化气冷凝，得到液态全氟碳电子特气中间气，不凝高纯惰性气体循环；(3)当液态混配气中的高纯惰性气体体积占比为0时，将液态全氟碳电子特气中间气替代液态混配气切入吸附塔并通入冷凝器，循环吸附，得到高纯全氟碳电子特气产品气。本发明深度脱除全氟碳电子特气粗品原料气中的杂质，适用于连续化生产中高纯、超高纯电子级全氟碳电子特气的制备，装置简单，操作性好、适用范围广泛、操作弹性大、安全高效。 | ||
| 搜索关键词： | 惰性气体 保护 高纯 全氟碳 电子 吸附 纯化 方法 | ||
【主权项】：
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