[发明专利]MEMS系统及信号处理电路在审
| 申请号： | 202111676181.6 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114222232A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R3/04 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS系统及信号处理电路，电容式MEMS传感模块的MEMS电容在外部的声音信号的激励下产生电容变化量，电容式MEMS传感模块连接偏置电压生成模块以接入偏置电压，并根据电容变化量及偏置电压输出表征声音信号的第一电压信号；利用缓冲模块接入第一电压信号并进行阻抗转换，输出第二电压信号；利用增益调节模块接入第二电压信号，并对第二电压信号进行增益调节后反馈至电容式MEMS传感模块。本发明通过增益调节模块可以实现电容式MEMS传感模块的灵敏度的正负增益调节，扩大了MEMS系统的应用场景；同时，通过控制增益调节模块和缓冲模块的等效输入噪声可以大大降低灵敏度调节过程中的信噪比损失，在增益调节过程维持系统的信噪比固定。 | ||
| 搜索关键词： | mems 系统 信号 处理 电路 | ||
【主权项】：
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