[发明专利]一种数据管理系统及管理方法在审
| 申请号： | 202111678016.4 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN116414780A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 田育帅;范光瑛;张晴;王贺;高雪清 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/16 | 分类号： | G06F16/16;G06F16/14;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京市一法律师事务所 11654 | 代理人： | 刘荣娟 |
| 地址： | 300385*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本申请提供一种数据管理系统及管理方法，所述方法包括：从至少一个生产机台端获取所述生产机台端的工艺配方文件；为每一个所述工艺配方文件设置用于识别所述工艺配方文件的第一识别标记；将每一个所述工艺配方文件分解为若干步骤级数据单元，并为所述若干步骤级数据单元设置用于识别所述若干步骤级数据单元的第二识别标记；将每一个所述步骤级数据单元分解为若干工艺配方参数，并为所述若干工艺配方参数设置用于识别所述若干工艺配方参数的第三识别标记。本申请提供一种数据管理系统及管理方法，可以兼顾文件级操作和参数级操作，实现对工艺配方文件中所有工艺配方参数的精确管理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数据管理 系统 管理 方法 | ||
【主权项】：
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