[发明专利]纳秒激光诱导等离子体复合飞秒激光加工装置及加工方法有效
| 申请号： | 202111678468.2 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114571086B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 卢希钊;陈嘉林;姜峰;江安娜 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了纳秒激光诱导等离子体复合飞秒激光加工装置及加工方法，加工装置包括飞秒激光器、纳秒激光器、聚焦透镜、透明工件、抛光靶材、工作台和夹具；该抛光靶材装设在工作台上，该透明工件装设在夹具且透明工件和抛光靶材上下布置；该纳秒激光器发出纳秒激光，该纳秒激光经聚焦透镜、透明工件聚焦轰击抛光靶材以产生金属等离子体团，金属等离子体团转移至透明工件背面并反射刻蚀透明工件正面以出现石墨化刻蚀；该飞秒激光器发出飞秒激光，该飞秒激光经聚焦透镜聚焦于透明工件并去除出现的石墨化刻蚀。它具有如下优点：在微纳制造领域应用前景巨大，实现工业上的高精密加工质量需求，解决透明硬脆材料工件的加工难题。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 诱导 等离子体 复合 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华侨大学，未经华侨大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111678468.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高机动机器人用主动式轮爪变形机构
- 下一篇：电量校准方法和相关装置
