[实用新型]一种真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202120018467.4 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN214496470U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 闫志强 | 申请（专利权）人： | 张家口柔电表面技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 李兴林 |
| 地址： | 075300 河北省张家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空镀膜设备，涉及真空镀膜相关技术领域；包括镀膜箱和操作屏，镀膜箱前端下部设置有进出门，镀膜箱内部装配有磁控靶、放置台和供电器，磁控靶底部设置有对准头；放置台包括安装座、镀膜限位箱和镀膜板；镀膜箱一侧设置有放气阀，另一侧连接有第一连接管，第一连接管下部的右端连接有第二连接管，第一连接管的下端固定连接有扩散泵，且扩散泵的下端内部设置有加热丝，并且加热丝的下端通过电性连接有加热器，加热丝的右侧贯穿连接有第三连接管，且第三连接管和第二连接管的右侧均连接有第四连接管，第四连接管的右端固定连接有机械泵。本实用新型提供的真空镀膜设备，使产品可以快速固定，且拆卸方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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