[实用新型]圆形阴极防交叉污染结构有效
| 申请号： | 202120019833.8 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN214088647U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 张奇龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 杭州朗为科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州浙言专利代理事务所(普通合伙) 33370 | 代理人： | 易朝晖 |
| 地址： | 311107 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及圆形阴极防交叉污染结构，包括溅射靶，溅射靶的靶头位于溅射靶靶口，靶口外增设一个防护罩筒，防护罩筒的外形呈矩形片蜷曲形成的筒状，其周长大小与溅射靶靶口的周长一致。该防交叉污染结构，圆筒形的防护罩，其内可以阻挡一部分小弧度飞溅的离子，以免飞入相邻的溅射靶靶头上造成污染，其外可以阻挡相邻溅射靶上小弧度飞溅出来的离子，防止溅射到溅射靶靶头上造成污染，同时防护罩上通过卡箍，采用紧固螺钉固定，可以实现自由摘取和更换。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 阴极 交叉 污染 结构 | ||
【主权项】：
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