[实用新型]太阳能电池硅片磷源浓度提高扩散装置

摘要

本实用新型公开了太阳能电池硅片磷源浓度提高扩散装置，属于太阳能电池片生产设备技术领域，太阳能电池硅片磷源浓度提高扩散装置，包括扩散炉管，扩散炉管的内部上侧设有沿扩散炉管长度方向设置的扩散喷淋管，扩散喷淋管的底端开设有多个沿其长度方向设置的喷淋孔，且多个喷淋孔等间距设置，扩散炉管的内部位于扩散喷淋管的下侧设有多个沿其长度方向排布的第一扩散机构和第二扩散机构，第一扩散机构和第二扩散机构交错设置，且第一扩散机构和第二扩散机构相贴合设置，可以实现利用特殊形状的扩散结构加速气流的扩散，能保证气流的均匀分布，保证了太阳能电池硅片的扩散均匀性，大大的提升了太阳能电池硅片的扩散效果和效率。