[实用新型]一种使用等离子转移弧加热的导电坩埚高温蒸发器有效
申请号: | 202120045905.6 | 申请日: | 2021-01-08 |
公开(公告)号: | CN214260701U | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 赵登永;彭家斌;余善海;潘经珊;张仁东 | 申请(专利权)人: | 江苏博迁新材料股份有限公司 |
主分类号: | B01D1/00 | 分类号: | B01D1/00;B01D1/30;B01D1/14 |
代理公司: | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人: | 许重要 |
地址: | 223800 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种使用等离子转移弧加热的导电坩埚高温蒸发器,包括壳体、导电坩埚、转移弧枪和电源,导电坩埚设置于壳体的内腔中,导电坩埚由坩埚本体和安装于坩埚本体上方的坩埚盖组成,坩埚本体的底壁内设置有进气腔,进气腔一侧通过若干个载流气输入预热通道与坩埚本体内腔连通,进气腔另一侧连接有若干个导气通道,若干个导气通道端部均延伸至壳体外侧,坩埚本体底部与壳体底部之间连接有导电棒,转移弧枪安装于壳体上方且其下端延伸至坩埚盖内侧,转移弧枪、导电棒分别与电源电性连接。本实用新型结构简单,设计合理,其内部加热温度高,适合于沸点高的材料制备成粉体时使用,具有广阔的市场前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 等离子 转移 加热 导电 坩埚 高温 蒸发器 | ||
【主权项】:
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