[实用新型]一种使用等离子转移弧加热的导电坩埚高温蒸发器有效

专利信息
申请号: 202120045905.6 申请日: 2021-01-08
公开(公告)号: CN214260701U 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 赵登永;彭家斌;余善海;潘经珊;张仁东 申请(专利权)人: 江苏博迁新材料股份有限公司
主分类号: B01D1/00 分类号: B01D1/00;B01D1/30;B01D1/14
代理公司: 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 代理人: 许重要
地址: 223800 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种使用等离子转移弧加热的导电坩埚高温蒸发器,包括壳体、导电坩埚、转移弧枪和电源,导电坩埚设置于壳体的内腔中,导电坩埚由坩埚本体和安装于坩埚本体上方的坩埚盖组成,坩埚本体的底壁内设置有进气腔,进气腔一侧通过若干个载流气输入预热通道与坩埚本体内腔连通,进气腔另一侧连接有若干个导气通道,若干个导气通道端部均延伸至壳体外侧,坩埚本体底部与壳体底部之间连接有导电棒,转移弧枪安装于壳体上方且其下端延伸至坩埚盖内侧,转移弧枪、导电棒分别与电源电性连接。本实用新型结构简单,设计合理,其内部加热温度高,适合于沸点高的材料制备成粉体时使用,具有广阔的市场前景。
搜索关键词: 一种 使用 等离子 转移 加热 导电 坩埚 高温 蒸发器
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