[实用新型]一种高纯乙硅烷的分析装置有效
| 申请号： | 202120052510.9 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN215449123U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 韩雪;付乾坤;吕坤 | 申请（专利权）人： | 烟台万华电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/64 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 陈悦军;尹吉伟 |
| 地址： | 264006 山东省烟台市经济技*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种高纯乙硅烷的分析装置。所述分析装置包括：进样系统；第一分离系统，其与进样系统通过管路连通，并且用于分离出第一类杂质和第二类杂质；第二分离系统，其与进样系统通过管路连通，并且用于分离出第三类杂质；第一分析系统，其与第一分离系统通过管路连通，并且用于检测第一类杂质和第二类中的各组分的含量；和第二分析系统，其与第二分离系统通过管路连通，并且用于检测第三类杂质中的各组分的含量。使用本实用新型所述的分析装置，可以一次进样即可实现乙硅烷中杂质的全分析，具有检测限低、分离效果好、分析速度快的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硅烷 分析 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于烟台万华电子材料有限公司，未经烟台万华电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120052510.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：烘焙装置
- 下一篇：一种分体式可循环物理除湿器
