[实用新型]一种晶圆机械手装置有效
| 申请号： | 202120062883.4 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN214238251U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 潘跃清;陈德珍 | 申请（专利权）人： | 厦门蚨祺自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;B25J19/00 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 何家富 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦门火炬高新区（翔*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆机械手装置，包括：控制器、平移机构及用于拿取晶圆的机械手；其中，与晶圆摆放的平面相平行的面为水平面；机械手及平移机构的数量为至少两个，每一机械手都与一平移机构的行动端传动连接，并通过行动端带动做水平面上的平移运动；平移机构的受控端与控制器的控制端相连接。这种晶圆机械手装置设置了至少两个机械手及至少两个平移机构，通过平移机构移动机械手，拿取晶圆，实现生产过程中晶圆的上下料。相比于现有的晶圆机械手，其可同时进行至少两个晶圆的拿取工作，大大提升了晶圆的拿取效率，且其结构较为简单，维护成本低，利用应用推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 装置 | ||
【主权项】：
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