[实用新型]一种晶圆衬底基片定位架

摘要

本实用新型公开了一种晶圆衬底基片定位架，包括基座，所述基座顶部四角均设有四根立柱，四根所述立柱内部均连接有安装腔，所述安装腔顶部均安装有转子，所述转子内部设有螺纹孔，所述螺纹孔内部安装有螺纹杆，靠近所述基座中心位置的螺纹杆端头均连接有夹持块，夹持块上均安装有缓冲棉；与所述夹持块垂直的转子侧壁上设有第一定位孔，与所述第一定位孔呈中心对称的转子侧壁上连接有第二定位孔，立柱顶部均设有定位销，所述定位销贯穿立柱顶部。使得该晶圆衬底基片定位架，操作简单，能够有效避免晶圆衬底基片上下表面处理不均，保证晶圆衬底基片合格率，提高生产效率，降低生产运营成本。