[实用新型]单晶炉坩埚吊装工具有效
申请号: | 202120077260.4 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN214456187U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 夏秋良;刘坤 | 申请(专利权)人: | 新美光(苏州)半导体科技有限公司 |
主分类号: | B66C1/22 | 分类号: | B66C1/22 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉坩埚吊装工具,涉及半导体长晶的技术领域,该单晶炉坩埚吊装工具包括基座和安装于基座的多个吊杆件;吊杆件远离基座的一端设有支撑部;多个吊杆件之间围成用于容纳坩埚的空间,支撑部能够相对基座转动,以使多个支撑部转动至坩埚的底面,并支撑坩埚的底面。通过该单晶炉坩埚吊装工具,解决了现有技术中存在的操作者采用人工手动的方式使三爪夹爪夹取锅架,该人工操作存在人工劳动强度大,效率较低的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 坩埚 吊装 工具 | ||
【主权项】:
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