[实用新型]一种稀有气体质谱仪的超高真空样品腔有效
| 申请号： | 202120081151.X | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN215263309U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张万峰;张玉莲;郑德文;肖明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州地球化学研究所 |
| 主分类号： | G01N30/06 | 分类号： | G01N30/06;G01N30/30 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 周友元;刘明星 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种稀有气体质谱仪的超高真空样品腔，包括底座，所述底座的顶部设有开口，所述开口处设有金刚石窗口，所述金刚石窗口包括无氧铜环外框以及金刚石内窗，所述金刚石内窗与无氧铜环外框之间设有金锡焊料，所述金刚石内窗通过金锡焊料与无氧铜环外框焊接相连，所述无氧铜环外框设置在法兰盘开口处，所述法兰盘开口处设置在法兰盘中部，所述法兰盘安装在底座上，所述底座上还设有加热组件以及保温组件。此一体式的样品腔将样品腔与加热器及保温件紧密结合，在加热释气时有利于升温/降温速率的精确控制，整个腔体处于较均一的温度环境中，能降低因不同材料热膨胀系数差异产生的微漏风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稀有气体 质谱仪 超高 真空 样品 | ||
【主权项】：
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