[实用新型]真空度测量设备有效
| 申请号： | 202120090625.7 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN213902735U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 田文栋;闫芬;康小涛 | 申请（专利权）人： | 西门子数字医疗科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘梅 |
| 地址： | 200031 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及真空度测量设备，用于测量待测设备的真空度，其包括：真空腔，真空腔的表面上设置有用于形成气体通路的多个接口；第一真空泵，用于对真空腔产生第一真空度范围的真空；第二真空泵，用于对真空腔产生第二真空度范围的真空；第三真空泵，用于对真空腔产生第三真空度范围的真空；真空计，用于测量真空腔的真空度；其中，第二真空度范围分别与第一真空度范围、第三真空度范围部分地重叠，真空度从第一真空范围至第二真空度范围、再至第三真空度范围依次降低，待测设备、第一至第三真空泵、以及真空计经由多个接口与真空腔流体地连通。本申请实现使真空度测量设备小型化、测量范围广、适于各种设备测量且易于扩展的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 测量 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西门子数字医疗科技（上海）有限公司，未经西门子数字医疗科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120090625.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种射频治疗仪主机结构
- 下一篇：一种电力工程用便于散热的电力变压器
