[实用新型]一种新型晶片旋干治具

摘要

本实用新型提供一种新型晶片旋干治具，本治具包括一底板、一竖板及两扩展板。底板上设置扩展槽、限位槽及排水孔，并将底板与竖版焊接，连接形成一体。竖板用于清洗篮放置朝向防呆，固定需旋干清洗篮的一侧位置。两扩展板可根据需旋干清洗篮的尺寸插入该治具底板上对应清洗篮尺寸的扩展槽中，再将需旋干清洗篮的底脚放置于该治具底板的限位槽中，可限定需旋干清洗篮的活动范围，固定清洗篮的位置，提高旋干过程的稳定性。在清洗篮旋干的过程中，底板及扩展板上的排水孔可用来排出清洗篮中晶片表面的水分，加快清洗篮中晶片的旋干速度。本治具具有多尺寸兼容及放置朝向防呆的功能，防止晶片表面污染，从而提高产品的良率。