[实用新型]一种卡匣基板感应装置有效

专利信息
申请号: 202120096064.1 申请日: 2021-01-14
公开(公告)号: CN214173388U 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 黄健;陈宇平;方志伟 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: G01D5/26 分类号: G01D5/26;G01D18/00
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 徐剑兵;林祥翔
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种卡匣基板感应装置,包括:卡匣本体和基板支架;所述卡匣本体内分为多层,且每层均设置有所述基板支架,所述基板支架用于放置基板;所述卡匣本体侧壁上设置有第一负压管路;所述基板支架上设置有第二负压管路、感应吸盘和感应元件,所述第二负压管路一端与所述第一负压管路相导通设置,且所述第二负压管路的另一端连通所述感应吸盘,所述感应元件置于所述基板支架上,且所述感应元件位于所述感应吸盘一侧。通过所述感应吸盘和感应元件的设置,防止出现误感应的状况,增加了基板感应的准确度,同时提高了制程的精度;通过所述感应吸盘的吸附效果,避免基板滑动造成基板边缘的撞伤,同时避免因长期放置导致的基板下坠量变大。
搜索关键词: 一种 卡匣基板 感应 装置
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