[实用新型]一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置有效
| 申请号： | 202120129910.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN213956657U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杨宏武;李洪;王军 | 申请（专利权）人： | 吉世科精密涂装（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 胡坚 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置，包括真空沉积腔室，真空沉积腔室顶部前方中心设有蜂鸣器，蜂鸣器通过螺钉安装在真空沉积腔室上，真空沉积腔室底部四侧均设有支撑腿，支撑腿均通过焊接安装在真空沉积腔室上，真空沉积腔室左面中心设有通管，通管通过焊接与真空沉积腔室内部连通，通管左面设有法兰，法兰通过套装密封在通管上，法兰内侧左端设有通气管，通气管通过套装密封安装在法兰内，通气管左面设有测量腔室，通气管通过焊接与测量腔室内部连通，测量腔室顶部中心设有真空规管；本实用新型一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置具有便于拆卸、信息储存、提醒报警、远程信息传输、温度湿度真空度检测查看方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二甲苯 沉积 使用 真空 测量 装置 | ||
【主权项】：
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