[实用新型]一种TFT-LCD玻璃基板双面镀膜装置有效
| 申请号： | 202120131075.9 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN215251151U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 江涛;胡凡;轩吉超;刘思亮 | 申请（专利权）人： | 孟州市康耀电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 | 代理人： | 杨东 |
| 地址： | 454750 河南省焦作*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种TFT‑LCD玻璃基板双面镀膜装置，包括设置有溅射部件的真空加工室，溅射部件包括真空泵、带有射频发生器的高压电源、溅射气体输送管、射频溅射靶和基座，真空加工室底部设置有支撑座，支撑座内设置有液压缸，液压缸输出端通过支撑板连接有真空密封盖，真空密封盖通过伸缩支架与基座连接。本实用新型通过转动伸缩支架上的可控丝杠柱使得限位环相对之间进行移动，当限位环靠近时，与之连接的底部支杆和上支杆会使得基板高度进行提升，反之高度降低，从而能使得位于基板上的玻璃面与射频激射靶之间的距离进行合理控制，从而满足在不同面积的玻璃进行加工时，能实现可控调整，从而避免浪费和提高涂层厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tft lcd 玻璃 双面 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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