[实用新型]一种单晶炉用新型电极有效
申请号: | 202120143381.4 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN214830788U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 郑伟扬 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉用新型电极,包括对称设置于底加热器底部两侧的两个升降电极组件;每个升降电极组件包括铜电极、波纹管、丝杆以及驱动电机;所述铜电极的底部固定于丝杆顶部,丝杆的底部穿过单晶炉炉底后与单晶炉外部的驱动电机驱动连接,丝杆与单晶炉炉底贯穿部位相互啮合,通过驱动电机驱动丝杆转动,实现上部的铜电极升降动作;铜电极的底部与单晶炉炉底之间通过波纹管连接,并在波纹管内形成隔离空间,用于容纳所述的丝杆;所述铜电极的顶部与底加热器底部对应的石墨电极相互卡接。该单晶炉用新型电极通过升降设计,能够实现底加热器与坩埚可同步升降,从而底加热器对坩埚进行近距离持续加热进而实现加快化料速度提升产能的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用 新型 电极 | ||
【主权项】:
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