[实用新型]一种直接原位综合测量微纳材料热电性能的装置有效

专利信息
申请号: 202120146388.1 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN215525614U 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 郑兴华;杨啸;张挺;陈海生 申请(专利权)人: 中国科学院工程热物理研究所
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 代理人: 原春香
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种直接原位综合测量微纳材料热电性能的装置,包括:测控系统、工控机和高真空恒温舱,其中测控系统包括左侧电极、中间电极、右侧电极、样品、第一电压表、第二电压表、第三电压表、第一开关、第二开关、第一电阻箱、第一电源、第四电压表、第二电源、第五电压表、第二电阻箱。采用对称的双H型悬空微纳电极作为样品测量探头,样品与电极间采用FIB或者导电导热胶固定连接,样品及探头放置与高真空环境,加热电极采用小功率加热、电压采用高分辨率的纳伏表或者锁相放大器等测量,可一次性针对同一个样品,精确测量样品的ZT、电导率、热导率及塞贝克系数。
搜索关键词: 一种 直接 原位 综合 测量 材料 热电 性能 装置
【主权项】:
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