[实用新型]一种公转自转平台及真空化学反应腔体有效
| 申请号： | 202120154158.X | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN214810725U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 邓必龙;张向东 | 申请（专利权）人： | 龙鳞（深圳）新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01J19/28 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种公转自转平台及真空化学反应腔体，属于旋转平台技术领域。本实用新型的公转自转平台，将自转驱动组件安装在公转台底部的安装空间内，进而解决了现有技术中齿轮组至少设置两层，体积庞大的问题，具有结构紧凑，承载能力强的优点。在公转台的中心开设第一避让通孔，用于安装射频电极组件，进而在公转台旋转时不干涉射频电极组件，改善了射频电极组件导电连接问题。本实用新型的真空化学反应腔体，通过应用上述公转自转平台，还提高了真空环境利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 公转 自转 平台 真空 化学反应 | ||
【主权项】：
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