[实用新型]清洗装置有效
| 申请号： | 202120158265.X | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN214683121U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王秋林;周利刚;张锐 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B15/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李路遥;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种清洗装置，包括：承载部件、喷嘴及第一管路；其中，对待清洗器件进行清洗时，所述待清洗器件设置在所述承载部件上；所述喷嘴设置在所述待清洗器件的上方，用于向所述待清洗器件喷射第一液体，以清洗所述待清洗器件；所述第一管路的进气口设置在与所述喷嘴靠近的位置，用于排出第一气体；所述第一气体是在清洗所述待清洗器件过程中，由所述第一液体形成的。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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