[实用新型]一种用于太阳电池的薄膜沉积系统

摘要

本实用新型提供一种用于太阳电池的薄膜沉积系统，该系统包括：热丝沉积设备，用于在待沉积硅片的第一表面和第二表面分别沉积太阳电池的第一本征层和第二本征层；第一等离子体沉积设备，用于在待沉积硅片沉积第一本征层的一侧表面沉积第一掺杂层；第二等离子体沉积设备，用于沉积太阳电池的第二掺杂层。本实用新型实施例提供的用于太阳电池的薄膜沉积系统，通过采用热丝沉积设备，该热丝沉积设备能够实现第一本征层和第二本征层的同时制备，避免了第一本征层和第二本征层之间的间隔时间，解决了现有技术中在形成晶体硅异质结太阳电池时第二面本征层生长时距离第一面生长本征层的时间较长,因此导致第二面本征层的钝化效果比较差的技术问题。