[实用新型]一种可旋转的固晶机取晶固晶结构有效
申请号: | 202120219677.X | 申请日: | 2021-01-27 |
公开(公告)号: | CN214279919U | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 朱辉;温琰;朱杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市晨微技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H02K9/04;B01D46/30;B01D46/10 |
代理公司: | 合肥汇融专利代理有限公司 34141 | 代理人: | 朱朝明 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安区西乡街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种可旋转的固晶机取晶固晶结构,属于固晶机技术领域。一种可旋转的固晶机取晶固晶结构,包括安装架,所述安装架的上端固定安装有驱动电机,所述安装架的下端设有与驱动电机连接的旋转架,所述旋转架的侧壁固定安装有摆臂,所述驱动电机的外壁套设有圆柱罩壳,所述圆柱罩壳的左右两侧分别设有出风槽与进风槽,所述进风槽的入口固定连接有集风罩,所述安装架的下端固定安装有支撑板,所述支撑板的侧壁设有与集风罩连接的吹风机构;本实用新型可以在摆臂旋转时对驱动电机进行有效散热,大大降低了驱动电机的故障率。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 固晶机取晶固晶 结构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造