[实用新型]一种浸泡装置有效
申请号: | 202120235182.6 | 申请日: | 2021-01-27 |
公开(公告)号: | CN214400804U | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 陈坚生;陈有荣;陈斯娜 | 申请(专利权)人: | 珠海科艺普实验室设备有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B29/06 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 郑晨鸣 |
地址: | 519000 广东省珠海市高新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种浸泡装置,包括柜体,设置有浸泡槽;第一支架,多个第一支架在浸泡槽中沿左右方向间隔排列,第一支架上设置有卡口,卡口的下端设置有圆角,卡口用于卡接晶棒。在第一支架的卡口的下端设置圆角,使得晶棒在放入卡口之后,卡口与晶棒的接触面积变大,第一支架的卡口对晶棒的压强变小,晶棒的圆柱表面不易被第一支架的卡口夹平,方便后续生产。还包括废液槽,废液槽和浸泡槽在前后方向并排,设置的废液槽用来容纳废液,防止酸洗晶棒后的废液外排,造成环境污染。废液槽上端连接有滤板,滤板上开设有多个滤孔,滤板用于放置晶棒,设置的滤板可以晾干放置在滤板上的晶棒,防止酸液持续腐蚀晶棒。 | ||
搜索关键词: | 一种 浸泡 装置 | ||
【主权项】:
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