[实用新型]一种弹性气密件及CVD沉积石墨烯的规模化制备设备有效
| 申请号： | 202120245962.9 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN214244668U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 孙华 | 申请（专利权）人： | 孙华 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B28/14;C30B29/02;C30B25/14;C30B25/10;C30B25/16;F16J15/3292 |
| 代理公司： | 北京八月瓜知识产权代理有限公司 11543 | 代理人： | 白鹤 |
| 地址： | 201401 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及石墨烯制取设备技术领域，尤其是涉及一种弹性气密件及CVD沉积石墨烯的规模化制备设备。该弹性气密件设置在制备腔室的出口端，弹性气密件与制备腔室的出口端密闭连接；弹性气密件上设置有传送带组件上设置有供传送带组件穿过的通道；弹性气密组件还包括加紧部，所述加紧部向弹性气密件施加压力，以控制通道与传送带组件之间的间距。通过加紧部对弹性气密件施加压力，能够改变传送带组件与通道之间的间距，使通道的侧壁与传送带组件紧密贴合，使制备腔室形成密封空间。当传送带组件的运行时，调整加紧部件对弹性气密件施加的压力。增大传送带组件与通道之间的间距。使通道具有传送带组件运行的空间，使传送带组件能够正常的运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 密件 cvd 沉积 石墨 规模化 制备 设备 | ||
【主权项】：
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